X線回折装置（XRD）

物質を構成する化合物の同定，結晶構造や結晶の大きさ，さらには、結晶粒径を調べるのに適しています。また、薄膜積層体各層の密度・膜厚・ラフネスや、ナノ粒子・ナノポアの粒径分布も評価可能です。

被検試料にＸ線を照射し、特有の角度に回折してくるＸ線をピークとして捕らえ、そのパターン，形状，幅，強度 等から、化合物種の同定や結晶構造に関する情報が得られる。

特徴

• 各種粉末およびバルク材の測定
• 50μmΦ以上の微小領域測定
• 1nm以上の薄膜測定
• 試料高温下(≦1500℃)での測定
• 不活性ガス下での測定

試料

• 広角（粉末）：ティスプーンきりかき一杯（標準）
• 広角・薄膜：15mm角×10mmt以内（標準）〜5インチウエハ（最大）
• 微小部：5mm角×5mmt以内
• 面内回折・X線反射率：20mm角×5mmt（標準）〜6インチウエハ（最大）